最小欠陥サイズと対象ワークのサイズに応じて、最適な光学構成を提案し、広視野でありながら、ご要求の最小欠陥を検出できます。
16Kカメラを6台まで1システム、更にシステム数を増やすことで
大型基板など対応が可能です。